气体灭菌法中最常用的气体为环氧乙烷，一般与80%~90%的惰性气体混合使用，在充有灭菌气体的高压腔室内进行。含氯的物品及能吸附环氧乙烷的物品则不宜使用本法灭菌。
        环氧乙烷灭菌装置是一次性使用无菌医疗器械生产企业的关键设备，安装操作、使用管理有其特殊要求，使用环氧乙烷做灭菌剂， 环氧乙烷是一种广谱灭菌剂，可在常温下杀灭各种微生物，包括芽孢、结核杆菌、细菌、病毒、真菌等。
1. 灭菌条件
气体灭菌方式用于医疗器械、塑料制品等不能采用高压灭菌的物品灭菌。
2. 灭菌步骤
  灭菌时，将灭菌腔室抽成真空； 然后通入蒸汽使腔室内达到设定的温湿度平衡的额定值； 再通入经过滤和预热的环氧乙烷气体。
3. 注意事项
A. 灭菌过程中，应严密监控腔室的温度、湿度、压力、环氧乙烷浓度及灭菌时间，必要时使用生物指示剂监控灭菌效果。
B. 整个灭菌过程应在技术熟练人员的监督下进行。
C. 灭菌后应采用新鲜空气置换，使残留的环氧乙烷和其他易挥发性残留物消散，并对灭菌物品中的环氧乙烷残留物和反应产物进行监控，以证明其不超过规定的浓度，避免产生毒性。
D. 采用环氧乙烷灭菌时，应进行泄露试验，以确认灭菌腔室的密闭性。
E. 灭菌程序确认时，还应考虑物品包装材料和灭菌腔室中物品的排列方式对灭菌气体的扩散和渗透的影响。
F. 生物指示剂一般采用枯草芽孢杆菌孢子。